화학공학소재연구정보센터
학회 한국재료학회
학술대회 2015년 봄 (05/14 ~ 05/15, 구미코)
권호 21권 1호
발표분야 G. 나노/박막 재료
제목 Sm3+ 이온이 도핑된 BaMoO4 박막의 광학 특성
초록 라디오파 마그네트론 스퍼터링 방법을 사용하여 Sm3+ 이온이 도핑된 BaMoO4 형광체 박막을 다양한 성장 온도로 증착하여 박막의 발광과 흡광 스펙트럼, 결정 구조, 표면 특성을 조사하였다. 박막은 100°C-400 °C 성장 온도에서 네 가지 종류의 기판(유리, 석영, 사파이어, 실리콘)에 증착되었고, 연달아 후열처리 공정을 실시하였다. 증착된 박막의 결정 구조는 XRD를 사용하여 촬영하였으며, 26.4°에서 최대 회절 세기를 갖는 정방정계 구조임을 알 수 있었다. 박막의 발광 특성은 257 nm의 파장으로 여기하였을 때, 전이 파장은 641 nm의 적색 발광과 596 nm의 주황색 발광스펙트럼을 나타내었다. 최대 발광 세기는 증착 온도 400 °C 에서 성장시킨 후 570 °C에서 열처리를 수행한 박막에서 관측되었다.
저자 김혜진, 조신호
소속 신라대
키워드 박막; 형광체; 투과도; 스퍼터링; 밴드갭; XRD
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