| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2009년 가을 (11/05 ~ 11/06, 포항공과대학교) |
| 권호 |
15권 2호 |
| 발표분야 |
A. Information Processing and Sensing(정보소재 및 센서) |
| 제목 |
MEMS 공정에 의한 2.5D 초소형 13.56MHz RFID 안테나 구현 및 전기적 특성 |
| 초록 |
표준 CMOS 공정을 사용하여 소형의 RFID 태그 안테나를 Si 기판위에 구현하고 그 전기적 특성을 평가하였다. HFSS 전자계 시뮬레이터를 사용하여 13.56MHz 주파수 대역에서 마이크로스트립 선폭 및 선간격을 50~200㎛ 영역에서 조절하면서 안테나 패턴을 설계하였다. S 파라메터, 자기공진주파수 및 Q 값을 시뮬레이션으로부터 도출하였다. 마이크로스트립 선폭 및 선간격이 각각 100㎛ 인 10턴의 안테나에서 자기공진주파수는 80MHz 정도이며 Q 값은 9 정도로 계산되었다. Si 기판 태그의 마이크로스트립 안테나는 DC 스퍼터링 공정에 의해 Al 2㎛를 증착하여 구현하였다. RIE 공정에 의해 마이크로스트립 선로 사이를 식각함으로서 2~3dB의 이득향상을 달성하였다. (본 연구는 교육과학기술부와 한국산업기술재단의 지역혁신인력양성사업으로 수행된 연구결과임) |
| 저자 |
김정연, 박승범, 김병국, 박재환
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| 소속 |
충주대 |
| 키워드 |
MEMS; RFID; 안테나; 스퍼터링
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