| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2014년 가을 (11/12 ~ 11/14, 엑스코(대구)) |
| 권호 | 18권 2호 |
| 발표분야 | 나노-포스터 |
| 제목 | 이종금속의 촉매작용을 이용한 이방성 실리콘 에칭에 관한 연구 |
| 초록 | 최근 다양한 희귀 금속(Ag, Au, Pt 등)의 촉매작용과 HF/H2O2를 이용한 무전해 스테인 에칭기술이 나노와이어 또는 포러스 실리콘 제작에 적용되고 있다. Ag, Au, Pt 등을 이용하여 에칭된 최종 포러스 실리콘은 에칭속도, 기공도, 에칭후 포어구조 등이 다르다. 따라서 이를 적절히 조합한 이종금속 층을 촉매층으로 이용하면 원스텝으로 다중 나노구조 형성이 가능할 것으로 예측된다. 본 연구에서는 먼저 Ag, Au, Pt, Rd을 별도로 이용하여 얻은 무전해 스테인 에칭의 결과를 통해 에칭속도, 기공도, 에칭 후 생성되는 포어구조를 파악하였다. 이를 기반으로 Ag, Au, Pt, Rd를 조합한(Ag/Au, Ag/Pt, Ag/Rd 등) 이종금속의 사이즈, 조성, 밀도를 제어하여 다중 나노구조를 제작하였다. |
| 저자 | 임철현1, 백수웅2, 송진호2, 이석호2 |
| 소속 | 1녹색에너지(연), 2(재)녹색에너지(연) |
| 키워드 | Porous silicon; metal catalyzed; silicon etching; multi-metal |
