| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2014년 봄 (05/15 ~ 05/16, 창원컨벤션센터) |
| 권호 | 20권 1호 |
| 발표분야 | F. 광기능/디스플레이 재료(Optical Functional and Display Materials) |
| 제목 | 차세대 디스플레이 응용을 위한 고이동도, 고신뢰성 산화물 박막 트랜지스터 기술 |
| 초록 | Zinc oxynitride (ZnON) 화합물 기반의 고이동도 박막 트랜지스터의 제작 기술을 본 발표에서 소개하고자 한다. ZnON 내의 주된 결함인 질소 공공 (Nitrogen vacancy)의 형성을 조절하고자 적절한 금속 dopant를 제일원리계산에 의해 도입한다. 이론계산으로 도입된 금속을 실제로 ZnON 반도체 내에 도핑하고, 최적의 도핑량이 다양한 재료분석을 통해 결정되었다. 결과적으로 차세대 평판 디스플레이에서 스위칭 또는 구동 소자 응용에 매우 적합한 50 cm2/Vs 이상의 고이동도를 갖는 ZnON 박막 트랜지스터의 제작 기술을 소개하고자 한다. |
| 저자 | 김현석 |
| 소속 | 충남대 |
| 키워드 | 산화물 반도체; 박막 트랜지스터; 평판 디스플레이 |
