| 초록 |
태양광발전은 태양에너지를 전기에너지로 직접 변환시켜 사용한다는 점에서 최근에 다양한 신 재생에너지 중에서 가장 급속하게 발전이 이루어지고 있다. 이 때문에 태양전지 wafer의 주 재료인 Si의 수요도 함께 증가하고 있다. 하지만 기존의 반도체 wafer의 과잉생산 및 부산물에 의존하던 태양전지용 실리콘(SoG-Si)의 공급체계로는 현재의 수요를 충당하지 못하고 있는 실정이다. SoG-Si의 생산방법 중 가장 널리 이용되는 Siemens법은 Si 석출온도 유지의 높은 단가, 폭발위험성을 지닌 실란 계열가스의 사용 그리고 연속생산이 불가능하다는 단점을 가지고 있다. 이에 반해 유동층 반응(Fluidized bed)을 이용한 공정은 입자형태의 SiO2를 직접 이용하고 연속적인 생산이 가능하다는 점에서 Siemens공정의 대체공정으로 각광받고 있다. 이에 본 연구는 SoG-Si 생산을 위해 H2, CH4를 환원가스로 이용하여 실험하였으며, XRD와 SEM을 이용하여 특성평가를 하였다. |
