| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2004년 가을 (11/05 ~ 11/05, 인하대학교) |
| 권호 | 10권 2호 |
| 발표분야 | Display |
| 제목 | 단일 패널 LCoS 디스플레이를 위한 무기 배향막의 경사 증착 특성 |
| 초록 | 마이크로 디스플레이의 한 방식인 LCoS (Liquid Crystal on Silicon)는 single crystal인 Si-wafer 기판위에 LCD를 구현함으로 고해상도, 고개구율, 양질의 화면 구현, 저가격화가 가능하다는 장점을 가지고 있다. LCoS를 이용한 프로젝션은 LCoS의 수에 따라 1패널과 3패널로 나눌 수 있다. 3패널은 RGB의 각각의 패널을 이용하여 반사된 빛을 합성하여 이미지를 구현하는 것이며 1패널은 하나의 패널 내에서 RGB각각의 이미지를 구현 합성한다. 그러므로 1패널 방식은 가격적인 면에 있어서는 장점을 갖지만 구동에 있어서는 더 빠른 응답 특성을 갖는 패널이 요구된다. 또한 LCoS는 고온의 램프에서 발생된 빛이 패널을 통과하여 반사되어 화상이 구현되므로 온도에 대한 안정성이 요구된다. 따라서 본 연구에서는 온도변화에 안정적이고 고속 응답이 가능한 액정의 배향을 위하여 무기 배향막을 채택하였다. 배향막의 재료로는 SiO2를 선정하였으며 e-beam evaporator를 이용하여 경사 증착을 하였다. 배향을 위해서는 SiO2가 기판에 대하여 일정한 각을 가지고 정렬되어 증착되어야 하므로 경사 증착을 위한 Tool을 개발하였고 이를 이용하여 배향된 무기 배향막을 얻을 수 있었다. 무기 배향막 형성을 위하여 증착 온도, 증착 속도, 증착각 등의 변수에 의한 배향 특성을 평가하였다. 기판과 증착 Source사이의 각은 30도에서 80도까지 변화시켜 가면서 증착하였다. 경사증착된 SiO2 박막의 단면을 보면 일정 각을 가지고 기울어져 성장한 것을 관찰할 수 있었다. 제작된 배향막을 이용하여 cell gap이 60um인 VA mode의 pretilt각 측정 시편을 제작하여 pretilt각을 측정하였다. Pretilt 각은 증착각이 증가함에 따라 30-35도 상이에서는 급격히 증가하였으며 40-80도 사이에서는 88-89사이로 거의 일정하게 유지 되었다. 이 결과를 바탕으로 cell gap이 1μm인 VA cell을 제작하였으며 구동 특성을 평가하였다. 60도에서 경사증착한 배향막을 사용했을 경우 가장 우수한 특성을 갖는 패널을 제작할 수 있었다. |
| 저자 | 이찬재1, 김원근1, 한정인1, 이유진2, 김민석2 |
| 소속 | 1전자부품(연), 2일진 디스플레이 |
| 키워드 | LCoS; 무기배향; 경사 증착 |
