| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2003년 봄 (04/25 ~ 04/26, 순천대학교) |
| 권호 | 9권 1호, p.479 |
| 발표분야 | 생물화공 |
| 제목 | 높은 열전도율을 위한 PDMS-based micro-PCR chip 제작 |
| 초록 | 본 연구는 생물연구에 있어서 가장 중요한 기술인 PCR(Polymerase Chain Reaction)을 반도체 공정을 이용하여 저가의 재료인 PDMS에 구현하였다. PDMS는 최근 Bio-chip 분야에서 가장 많이 쓰이는 substrate로써, 제작이 간단하여 silicon이나 glass보다 빠른 시간에 제작이 가능하다. 그러나, 열전도율이 낮아 온도에 의해 제어되는 PCR반응의 효율은 아직까지 silicon-based micro-PCR chip에 못미치고 있다. 이러한 단점을 보완하기 위해, 먼저 두께 50㎛의 SU-8 50 몰드를 이용하여 얇게 제작된 chip의 하판과 패터닝이 안된 상판을 플라즈마 처리를 이용하여 본딩하였다. 그리고 제작된 chip에 열전도율이 높은 물질인 Al, Cu를 스퍼터를 이용하여 증착하여 micro-PCR chip을 제작 하였다. |
| 저자 | 이윤경1, 윤영수2, 김종성1 |
| 소속 | 1경원대, 2한국과학기술(연) |
| 키워드 | Micro-PCR chip; PDMS; SU-8 |
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| 원문파일 | 초록 보기 |
