| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2000년 봄 (04/21 ~ 04/22, 한양대학교) |
| 권호 | 6권 1호, p.2001 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | Pt 박막의 패터닝 형성 및 저항소자의 온도-저항 특성 연구 |
| 초록 | 본 연구에서는 Pt 박막을 이용하여 RTD 센서를 제작하였다. Pt 박막을 DC-sputter를 이용하여 알루미나에 증착한 다음, 온도를 변화시키며 열처리를 하였다. 이것을 전기적 저항특성에 대한 영향을 조사하였고 사진식각공정을 이용하여 serpentine형 패턴의 RTD 센서를 제작한 다음, 저항-온도 특성을 조사하였다. Serpentine 패턴 형성을 위한 사진식각의 공정변수를 변화하여 최적의 공정조건을 산출하였다. 최적의 공정조건은 소프트 베이킹의 온도는 90℃, 소프트 베이킹 시간은 30분, 노광시간은 20초, 현상용액의 농도(현상액 : DI water = 1:5), dhseh 50℃, 에칭용액 조성이 질산 : 염산 : 물 = 1 : 7 :3 일때 패턴형성이 가장 잘 되었다. 제작된 RTD의 전기저항은 온도에 따라 선형적으로 증가하였으며 온도 저항 계수(TCR)는 Pt의 두께가 얇을수록, 패턴의 선폭이 좁을수록, 열처리 온도가 증가할수록 증가하였다. |
| 저자 | 원종각, 김지광, 김종성 |
| 소속 | 경원대 |
| 키워드 | RTD(Resistance Temperature Detector); photoresist |
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| 원문파일 | 초록 보기 |
