초록 |
흡착제내 확산 및 흡착에 대한 고차의 근사식들을 비주기적 흡착 과 주기적 흡착 각각에 대해서 개발하였다. 비주기적 흡착에서는 기공흡착모델에 대한 전달함수의 Pade근사식을 이용하여 상수계수 선형 정미분방정식들로으로 표현되는 근사식들을 개발하였으며, 주기적흡착에서는전달함수의 근사에 주파수일치방법 (frequency matching method)을 개발하여 이용하였고 여기에서 주기에 따라 이론적인 함수로 결정되는 계수를 갖는 선형 정미분방정식들을 개발하였다. 각각의 경우 근사차수에 따른 식들이 얻어졌으며 이중 일차근사식은 비주기적 흡착의 경우 lineardriving force 식과 동일 하였고, 주기적 흡착의 경우 Kim[1]의 식과 동일하였다. 근사차수의 증가에 따라 근사식을 구성하는 미분방정식의 수가 증가하였으며, 계산예에서 보면 근사의 오차는매번 거의 1/10로 감소하였다. 한편 2차 또는 3차 근사식들은 기공확산모델과 거의 같아짐을 확인하였다. 또한 주기적흡착에서 주기내 각 단계에 따라 확산계수의 변화가 있는 경우에 대한 근사식의 적용에 대해서도 논의하였다.
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