| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2013년 봄 (05/23 ~ 05/24, 여수 엠블호텔(THE MVL)) |
| 권호 |
19권 1호 |
| 발표분야 |
C. 에너지/환경 재료(Energy and Environmental Materials) |
| 제목 |
플라즈마이온주입법으로 형성된 에미터의 열처리 조건과 전기적 특성 연구 |
| 초록 |
고효율 태양전지를 제작하기 위해서는 포톤에 의해 생성된 전자 정공의 재결합을 줄이는 것이 중요하다. 이를 위해 다양한 에미터 형성방법이 연구되고 있다. 본 실험에서는 플라즈마이온주입법을 통하여 p-type 단결정 실리콘 기판에 인(P)을 주입하였다. 인의 주입 후 도펀트의 활성화와 표면 손상 회복을 위해 수행되는 열처리 공정의 조건을 바꾸어 에미터 층의 전기적 특성을 관찰하였다. 열처리 온도에 따라 면저항을 측정하여 도펀트 활성화 정도를 파악하였으며, 누설전류 측정을 통하여 표면 손상과 회복을 관찰하였다. 플라즈마이온주입법으로 형성된 에미터의 경우, 기존의 확산법을 통해 형성한 에미터에 비해 Implied Voc가 높고 누설전류가 낮음 관찰할 수 있었다. |
| 저자 |
박효민, 박성은, 배수현, 이해석, 김동환
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| 소속 |
고려대 |
| 키워드 |
실리콘 태양전지; 에미터; 플라즈마이온주입법
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