| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2018년 봄 (05/16 ~ 05/18, 삼척 쏠비치 호텔&리조트) |
| 권호 |
24권 1호 |
| 발표분야 |
E. 환경/센서 재료 분과 |
| 제목 |
적외선 투과 게르마늄의 고순화 공정에 관한 연구 |
| 초록 |
게르마늄은 적외선 센서에 사용 적합한 높은 투과 범위, 우수한 굴절률 등 뛰어난 특성을 가지고 있어 적외선 센서의 광학계 핵심 부품인 투과창(window), 렌즈(lens) 등 여러 분야에 사용되고 있다. 단결정 게르마늄은 적외선 탐색기 등 대형 투과창 제조에 채택되어 사용되고 있는데, 이러한 단결정 게르마늄 제조시 발생되는 스크랩은 매우 고가이기 때문에 재사용 할 필요성이 있다. 따라서 스크랩 처리된 게르마늄의 고순화를 하고자 zone refining 법으로 비저항 50Ωcm 이상의 고순화 된 게르마늄 잉곳을 제조하였다. zone refining 공정을 5~7pass 적용하면 약 240mm의 게르마늄 잉곳 중 1/2의 길이에서 50Ωcm 이상의 비저항이 측정되었다. 본 연구에서는 zone refining 법을 이용한 고순화 게르마늄의 수율을 증대시키고, 물질이동으로 인한 수율감소를 줄이고자 흑연보트 형상 및 투입 전력을 변경하여 zone refining의 공정을 최적화하기 위한 연구를 진행 하였다. |
| 저자 |
김경호1, 김상섭2, 조규섭1, 최경환1, 전영준1
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| 소속 |
1한국생산기술(연), 2인하대 |
| 키워드 |
germanium; zone refining; high purity; infrared sensor
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| E-Mail |
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