| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2003년 봄 (04/25 ~ 04/26, 순천대학교) |
| 권호 | 9권 1호, p.1102 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | 자기집합막을 이용한 ITO 박막 제조 |
| 초록 | Indium tin oxide (ITO) 박막은 투명하고 높은 전도도를 가진다고 잘 알려져 있어서, ECD(electrochronic displays)나 LCD(liquid crystal displays) 같은 장치에 주로 사용되어 왔다. 고온의 sintering 과정을 포함하는 고전적인 세라믹 제조방법들을 사용할 경우 400 이상의 열처리를 해주어야 막이 형성되기 때문에 300 이상의 온도에서 열분해되는 플라스틱 상에서는 응용성이 떨어진다. 최근 자기집합막 말단에 있는 작용기를 이용해, 기판 위에 세라믹을 성장시켰지만 작용기 위에서 성장하는 박막은 두께를 조절해줄 수 없기 때문에 주로 세라믹이 수직적으로 성장하여 박막으로 이용하기에는 어려움이 있었다. 본 연구에서는 Biomimetic 방법을 확장한 TFST (Thin Film via Surfactant Template) 기술을 사용하여 2차원적 주형인 자기집합막 안에서 박막을 성장시켜 균일한 두께의 ITO 박막을 제조하였다. ITO film의 저항값을 측정한 결과, 개질된 기판 위에 ITO film을 코팅시킨 것이 개질되지 않은 것보다 훨씬 낮게 측정되었다. 표면 image는 AFM과 SEM을 이용하여 관찰하였는데 개질된 Si wafer 위에 ITO 박막을 증착시킨 것이 개질되지 않은 Si wafer 위에 ITO 박막을 증착시킨 것보다 훨씬 더 평활하고 고르게 증착되었음을 알 수 있었다. |
| 저자 | 성경희1, 양정은1, 문일식2, 조규진2, 이재석1 |
| 소속 | 1광주과학기술원, 2순천대 |
| 키워드 | 자기집합막; ITO |
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