| 학회 |
한국고분자학회 |
| 학술대회 |
2004년 봄 (04/09 ~ 04/10, 고려대학교) |
| 권호 |
29권 1호, p.290 |
| 발표분야 |
복합재료 |
| 제목 |
Fabrication of Magnetic Particle Arrays using Geometrically Confined Block Copolymer Template |
| 초록 |
최근 메모리 소자의 소형화 추세에 따라 보다 작은 자성 물질의 패턴 형성이 요구되고 있다. 하지만 일반적인 광 식각 공정으로는 100nm 이하의 패턴 형성이 쉽지 않으며 E-beam 식각 공정은 많은 돈과 시간이 소요되는 문제점이 있다. 고분자 공중합체는 둘 혹은 그 이상의 폴리머가 공유 결합에 의해 연결되어 있으며 각 사슬의 길이 비에 따라 다양한 종류의 몰폴로지를 형성할 수 있다. 특히 얇은 박막 형태의 육방정 구조 공중합체는 금속과 같은 물질을 증착하거나 식각을 위한 마스크로 활용될 수 있다. 본 연구에서는 PS-PMMA(분자량비 10:1)와 CMF(Cohesive Mechanical Failure) 공정을 사용하여 패턴화 되지 않은 상태보다 더 규칙적인 육방정 구조의 홀을 생성하고 뒤 이은 식각 공정을 통해 자성 입자의 배열을 만들었다. |
| 저자 |
장세규, 최대근, 양승만
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| 소속 |
한국과학기술원 생명화학공학과 |
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