| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2010년 가을 (10/21 ~ 10/22, 대전컨벤션센터) |
| 권호 | 16권 2호, p.2068 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | Ozone을 이용한 TiO2 증착 및 표면 질화를 통한 광촉매 특성 평가 |
| 초록 | 이산화티타늄(TiO2)은 백색안료나, 고주파용 콘덴서 소재를 비롯한 전자재료, 저반사 코팅등의 광학재료, 그리고 센서 및 보호재료 등 매우 광범위한 응용 범위를 갖고 있다. 특히 최근에는 TiO2를 무한 응용 가능성을 지닌 새로운 환경 개선 광촉매 소재로 사용하려는 연구가 매우 활발하게 진행되고 있다. 그러나 순수한 TiO2의 광학 활성은 UV파장대에서 주로 얻어지기 때문에 광촉매 효용성을 높이기 위해서는 광학 활성영역을 가시광선으로 넓히는 것이 필요하다. TiO2에 불순물을 내재시킬 경우 이러한 효과를 기대할 수 있다. 본 연구에서는 Ozone의 공정 변수에 의한 TiO2 증착 속도 변화 와 표면을 질화시킬 때의 공정 변수에 따른 광촉매 활성 영향을 보고할 예정이다. |
| 저자 | 김용안, 김도형 |
| 소속 | 전남대 |
| 키워드 | ALD; TiO2; 광촉매; TDMAT; Ozone |
| 원문파일 | 초록 보기 |
