| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2013년 봄 (05/01 ~ 05/03, ICC JEJU) |
| 권호 | 17권 1호 |
| 발표분야 | 포스터-나노 |
| 제목 | 실리콘 컷팅 슬러지로부터 초고순도 실리콘 제조 |
| 초록 | 40% 이상의 고순도 실리콘이 반도체 및 태양전지용 웨이퍼 가공을 위한 실리콘 잉곳 절단공정에서 버려지고 있다. 폐 실리콘 슬러지에는 실리콘과 실리콘 카바이드, 오일, 금속 불순물 등이 포함되어 있다. 본 연구에서는 실리콘 컷팅 슬러지에 초음파와 원심분리를 적용하여 실리콘 및 실리콘 카바이드 혼합물로부터 실리콘을 분리한 후, 산 침출법으로 실리콘에 잔류하는 금속 불순물을 제거하였고, 초고순도 실리콘을 회수하기 위해 수소 플라즈마 처리를 하였다. 공정 변수로는 실리콘 회수를 위하여 초음파 처리 시 처리 강도 및 시간을 변화하였으며, 원심분리 시에는 회전 속도 및 시간, 산 침출 시에는 산의 농도 및 반응 온도, 시간을 변화하였다. 실험 결과 초음파와 원심분리에 의하여 실리콘 컷팅 슬러지로부터 효과적으로 실리콘 입자를 분리할 수 있었고, 산 침출법에 의해 금속 불순물을 제거한 후, 수소 플라즈마 처리를 거쳐 초고순도 실리콘을 회수 할 수 있었다. |
| 저자 | 김혜경, 장희동, 장한권, 길대섭 |
| 소속 | 한국지질자원(연) |
| 키워드 | 분리 회수; 정제; 실리콘; 초고순도 |
