| 학회 |
한국화학공학회 |
| 학술대회 |
2000년 봄 (04/21 ~ 04/22, 한양대학교) |
| 권호 |
6권 1호, p.1929 |
| 발표분야 |
이동현상 |
| 제목 |
고밀도 플라즈마 발생자치 2차원 모델링 |
| 초록 |
Cl2 기체를 이용하는 헬리컬 공진기의 방전영역 2차원 유체 모사를 수행하였다. 모듈방식의 접근은 플라즈마와 중성 입자의 수송에서 다른 시간 스케일을 self consistent 방식으로 결합하기 위해 사용하였다. 이러한 방식은 표면 반응 뿐만아니라 (전자, 이온, 그리고 중성자를 포함하는) 복잡한 플라즈마 화학 반응을 전산모사에 고려할 수 있다. 플라즈마로 deposition된 power는 맥스웰 식의 해를 구하는 전자기 모듈에 의해 계산된다. 전자에너지 모듈은 전자온도와 전자 충돌 반응의 속도 상수를 구하기 위해 power deposition을 사용하며 이들은 다시 중성입자 모듈과 하전입자 모듈에서 사용되어 이들 모듈간에 반복 계산에 의해 self-consistent 해를 얻을 수 있다. 따라서 power deposition, 각종 입자의 밀도, 그리고 중성입자와 전자의 온도를 구할 수 있다.본 연구의 결과는 미래의 반도체 공정에서 요구되는 보다 개선된 성능을 가진 플라즈마 반응기의 설계기술 확립과 최적의 운전조건을 도출하는데 기여할 수 있다.
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| 저자 |
이상덕, 윤창연, S. Berezhnoj, 신치범
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| 소속 |
아주대 |
| 키워드 |
모델링; 헬리컬 공진기; 고밀도 플라즈마; 모듈 방식
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| 원문파일 |
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