| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2005년 가을 (11/10 ~ 11/11, 한양대학교) |
| 권호 | 11권 2호 |
| 발표분야 | 전자재료 |
| 제목 | 산소 유량비에 따른 Al doped ZnO 박막의 전기광학적 특성 연구 |
| 초록 | 1. 서론 투명 전극 재료는 투명하면서도, 낮은 저항값을 나타낼 뿐만 아니라 소자를 휘거나 접었을 때에도 기계적으로 안정할 수 있도록 강도를 나타내어야 하고, 플라스틱 기판의 열팽창계수와 유사한 열팽창계수를 갖고 있어서 기기가 과열되거나 고온인 경우에도 단락되거나 면저항의 변화가 크지 않아야 한다. 현재 ITO는 우수한 전기 전도도와 가시광선에서 높은 투과도 때문에 현재 가장 많이 사용되고 있다. 그러나 ITO는 고가의 자원과 독성 물질로 인하여 ITO를 대체할 수 있는 새로운 투명전도물질 개발을 위해 많은 연구가 되고 있다. 그 중 Al이 도핑된 ZnO는 ITO와 유사한 전기 전도도와 광학적 특성을 보이며, Zn의 가격이 저렴하고, 수소 플라즈마 하에서의 안정성 등으로 인해 ITO대체물질로 높은 주목을 받고 있다. 2. 실험 방법 및 분석 본 연구에서는 산소 유량에 따른 ZnO:Al박막의 전기적 특성과 가시광선 영역내에서의 투과도 특성 평가를 하였다. 실험방법으로 corning 1737 glass 위에 250 ℃ 에서 O2 reactive sputtering으로 ZnO:Al 박막을 증착하였다. 전기적 특성을 평가하기 위해 4-point prove로 저항을 측정하였으며, UV- Vis –spectroscopy 을 사용하여 가시광선 영역대에서 투과도를 측정하여 광학적 특성을 평가하였다. 본 연구는 삼성전자주식회사 LCD 연구소의 지원으로 수행하였습니다. |
| 저자 | 김쇄현1, 문연건1, 정창오2, 박종완1 |
| 소속 | 1한양대, 2삼성전자주식회사 LCD (연) |
| 키워드 | Al doped ZnO(AZO); Electrical property; Optical property; Zinc oxide |
