| 초록 |
본 연구에서는 ZnO film과 nanorod에 H2O2 처리와 annealing을 하여 ethanol gas에 대한 sensing 특성을 확인하였다. RF sputtering을 통해 1um의 ZnO film을 형성하였고, 또한 이것을 seed로 하여 수열합성법을 통해 3um 길이의 ZnO nanorod를 합성하였다. ZnO nanorod 기반의 gas sensor의 경우 ZnO film gas sensor보다 넓은 표면적을 가지므로 높은 sensing response를 나타내었다. 또한 이 샘플들을 H2O2 처리 후 annealing을 통해 ZnO 표면에 oxygen vacancies를 형성하고 이를 X-ray diffraction (XRD), X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), photoluminescence (PL), diffused reflectance spectroscopy (DRS)를 이용하여 분석하였다. 이렇게 형성된 oxygen vacancies는 gas sensing response를 증가시켰으며, 이러한 결과에 대해 메커니즘을 제시하였다. |
