학회 한국화학공학회 학술대회 1999년 가을 (10/22 ~ 10/23, 경남대학교) 권호 5권 2호, p.4377 발표분야 재료 제목 레이저에너지에 따른 폴리실리콘 박막의 재결정화 특성 분석 초록 laser 에너지를 이용한 폴리실리콘막의 결정화특성분석및 하부 물질에따른 막특성 변화 분석 저자 이 청, 이시우 소속 포항공과대 키워드 폴리실리콘; laser; 재결정화 E-Mail 원문파일 초록 보기 목록보기
