| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2021년 가을 (11/24 ~ 11/26, 경주 라한호텔) |
| 권호 | 27권 2호 |
| 발표분야 | D. 구조 재료 분과 |
| 제목 | 700um/h 식각 성능을 가진 이온밀러를 이용한 구조 재료 단면가공 |
| 초록 | 이온밀러는 산업의 고도화로 응용분야가 급격히 확대되고 있으나 전량 외산장비에 의존하고 있고, 장비의 가격 및 유지보수 비용이 매우 높아 쉽게 접근 못하고 있는 것이 현실이다. 재료 및 소재 관련 산업의 발전을 위해 이온밀러의 국산화는 필수적이다. 그러나 이온밀러의 국산화를 위해서는 기술적으로 난이도가 높은 우수한 성능의 이온건 설계 및 제작, 비전문가도 쉽게 시편제작이 가능한 편리성 제공은 물론 장시간 운영에도 동일한 성능을 유지할 수 있는 안정적인 장비 운용 기술이 필요하다. 이러한 문제를 해결한 당사가 개발한 이온밀러 (Cross-Section Polisher: CP-8000+) 기술전반에 대해 소개하고 그 용용사례를 들어 이해를 돕고자 한다. 이온밀러에 적용된 기술은 가속전압 8kV에서 700um/hr(@ Si) 이상의 식각률 달성을 위해 고성능 소형 패닝 이온원 설계 및 제작과 Ar 가스 분사 구조 기술을 적용하였다. 또한 초보사용자도 쉽게 시료를 로딩하여 원하는 결과를 얻을 수 있도록 계단형 높이조절지그와 탈착 가능한 시료대 구조를 적용한 원터치 스마트 시료대 기술을 적용하였다. 나아가 이온밀러의 고급사양에 해당하는 대면적의 시료 표면 전처리 기술인 플랫밀링 기술에 대해서도 설명한다. 국내 순수 기술로 국산화를 이룬 CP-8000+의 다양한 시편 제작과 응용 사례를 들어 해외 이온밀러와 비교하여 그 우수성을 설명한다. |
| 저자 | 김용주 |
| 소속 | (주)코셈 |
| 키워드 | 이온밀링; 단면식각; 플랫밀링; 주사전자현미경(SEM); 투과전자현미경(TEM) |
