| 초록 |
자동차 부품산업을 비롯한 기계공업의 급격한 신장은 절삭가공기술 및 공구기술의 고속도화, 고능률화 및 고정밀화를 요구하고 있다. 따라서 우수한 내마모성, 내구성 등을 갖는 부품의 개발을 요구하고 있다. 경도가 높고 화학적으로 안정한 TiN, TiC, TiCN, TiAlN, TiAlCrN의 세라믹 보호피막을 코팅하여 부품의 내마모성 및 성능을 비약적으로 향상시키는 연구들이 다양하게 진행되고 있다. TiN 박막의 경우 500℃ 이상이 되면 상변태점에 도달해 이는 조직변화와 내마모성의 저하를 불러올 수 있다. TiN의 고온 물성을 향상시키고 경도를 높이기 위하여 TiN에 Al, Cr 등의 원소를 추가한 다성분계 질화막에 대한 연구가 많이 진행되고 있다. 이에 본 연구에서는 TiAl 합금 타겟과 N2/Ar 가스를 사용하고 DC 스퍼터링법 및 RF 스퍼터링법을 사용하여 Silicon wafer위에 TiAlN 박막을 증착하고 물성을 평가하였다. DC와 RF 공정에 있어서 증착변수가 합성되는 TiAlN 막의 특성에 미치는 영향을 분석하고, 합성된 막의 특성에 미치는 DC와 RF의 영향을 비교 고찰하고자 한다. |
