| 학회 | 한국고분자학회 |
| 학술대회 | 2009년 가을 (10/08 ~ 10/09, 광주과학기술원 오룡관) |
| 권호 | 34권 2호 |
| 발표분야 | 기능성 고분자 |
| 제목 | sol-gel 방법을 이용한 TiO2 박막 트랜지스터 절연막의 특성 연구 |
| 초록 | 저전압으로 구동이 가능한 소자에 대한 관심이 높아지면서, 보다 얇고 공정이 간단한 dielectric layer 개발이 요구되고 있다. 본 연구에서는 기존에 알려진 sol-gel 방법을 변형하여 one step으로 코팅 가능한 방법을 고안하였다. TiO2의 전구체인 Titanium isopropoxide, 점도 증강제, IPA를 섞은 혼합용액으로 딥코팅하였다. 점도 증강제를 도입함으로써, 기판 전처리 없이 기판과의 접착성을 확보하였다. titanium butoxide를 이용한 dielectric layer에 비교하여, OTFT의 전체적 성능이 향상되었다. 낮은 점멸비가 취약점인 titanium butoxide의 결과와 비교하여, titanium isopropoxide의 경우, 점멸비가 상당히 개선된 것으로 보여지며 이동도 또한 증가하였다. |
| 저자 | 문지수1, 김홍두2 |
| 소속 | 1경희대, 2경희대 디스플레이재료공학과 |
| 키워드 | OTFT; dielectric layer; sol-gel |
