| 학회 | 한국고분자학회 |
| 학술대회 | 2014년 가을 (10/06 ~ 10/08, 제주 ICC) |
| 권호 | 39권 2호 |
| 발표분야 | 고분자구조 및 물성 |
| 제목 | PECVD에 의한 메틸메타크릴레이트 플라즈마 중합체 합성 |
| 초록 | 메틸메타크릴레이트는 아크릴 고분자의 단량체로 널리 이용되는 단량체이다. 본 연구에서는 표면개질 및 계면접착력 개선을 위한 얇은 필름 제조의 한 방법으로, PECVD(plasma enhanced chemical vapor deposition) 법으로 Si 기판 위에 메틸메타크릴레이트 중합체를 증착하였다. 반응기체로 Ar과 아세틸렌을 혼입하였으며, 플라즈마 power와 반응 압력에 따른 필름의 성장속도 변화를 α-step으로, 증착 필름의 화학구조 변화에 미치는 영향을 FT-IR과 XPS로 분석하였다. FT-IR과 XPS에서 얻어진 피크들을 curve fitting으로 분리하여 주요 작용기들의 강도와 플라즈마 반응 조건의 상관성을 조사하였고, 종합적으로 플라즈마 반응의 W/FM 값이 증착물의 물성 및 화학구조에 미치는 영향을 고찰하였다. |
| 저자 | 김기수, 문희권, 서문규 |
| 소속 | 청주대 |
| 키워드 | plasma polymerization; methyl methacrylate; W/FM parameter; XPS curve fitting |
