| 학회 |
한국고분자학회 |
| 학술대회 |
2019년 가을 (10/09 ~ 10/11, 제주컨벤션센터) |
| 권호 |
44권 2호 |
| 발표분야 |
콜로이드 및 분자조립 부문위원회 I |
| 제목 |
Morphology Control of Block Copolymer in Confined Geometry |
| 초록 |
블록공중합체의 Self-assembly를 이용한 나노리소그래피 공정에서는 블록공중합체의 형상을 제어하는 것이 중요하다. 본 연구는 공간적으로 제한된 템플릿에서 박막으로 제조된polystyrene-Polydimethylsiloxane 블록공중합체(PS-b-PDMS)의 2차원 형상 제어 방법에 대해 고찰하였다. 템플릿을 e-beam 리소그래피를 통해 길이 및 종횡비가 다르게 제조하였고, 이에 따른 블록공중합체의 형상 변화에 대해 연구하였다. 사각 템플릿의 가로 세로 종횡비를 미세하게 변화시키면 템플릿의 길이(w)가 블록공중합체의 패턴 주기(L0) 의 정수배에 해당되는 방향으로 블록공중합체가 안정적으로 배열하는 것을 확인 할 수 있었고 이를 프리에너지 모델을 통해 수식으로 증명하였다. 또한 실험을 통해 4X4 개의 템플릿 내에 블록공중합체 패턴의 배열을 각각 독립적으로 제어할 수 있음을 보였다. 본 연구를 통해 간단한 템플릿 디자인을 이용하여 제한된 공간내의 블록공중합체 패턴을 제어할 수 있는 방법의 제시하였고 이는 블록공중합체를 이용한 차세대 리소그래피나 광, 전자 소자를 위한 나노패터닝 제조 방법에 응용될 수 있을 것으로 기대된다. |
| 저자 |
윤현수, 최홍균
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| 소속 |
공주대 |
| 키워드 |
self-assembly; morphology transition; block copolymer
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| E-Mail |
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