| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2004년 봄 (05/14 ~ 05/14, 강릉대학교) |
| 권호 | 10권 1호 |
| 발표분야 | 기타 |
| 제목 | CoFeAlO 연자성 박막의 두께에 따른 자기적 특성 |
| 초록 | 최근 정보 산업 기기의 고성능화, 소형화 추세에 따라 자기 부품의 소형화가 이루어져야 하고 여기에 내장되는 연자성 재료도 소형화 되면서도 높은 포화자속밀도와 고주파대역에서 높은 투자율이 요구되고 있다. 본 연구에서는 RF-Magnetron Sputtering 방법을 사용하여 Co70Fe30의 타겟에 Al칩 12개를 원주형으로 배치하고 초기 진공도 5x10-7Torr 이상의 조건에서 Ar/O2 : 3%의 분위기를 조성 CoFeAlO 계 박막을 두께(500~6000Å)에 따라 제조하였다. 제조된 시료를 VSM으로 측정한 결과 높은 포화자속밀도 (4πMs:~19kG)를 나타 내었고 두께가 변함에 따라 보자력 (Hc:40~0.8Oe)과 이방성 자계 (Hk:25~68Oe)가 변화하였다. 따라서 MOKE를 사용하여 near-surface 자기적 특성을 조사하여 박막의 두께에 따른 특성 변화를 연구하였다. |
| 저자 | 김현빈, N.D.Ha, 김철기, 김종오 |
| 소속 | 충남대 |
| 키워드 | 연자성; MOKE |
