화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 1995년 봄
권호 1권 1호, p.904
발표분야 재료
제목 이온화 클러스터 빔 증착의 박막형성기구에 관한 전산모사
초록
저자 이경호, 신치범, 황경순, 문상흡, 조원일, 윤경석
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