화학공학소재연구정보센터
학회 한국고분자학회
학술대회 2012년 봄 (04/12 ~ 04/13, 대전컨벤션센터)
권호 37권 1호
발표분야 고분자가공/복합재료
제목 O2 plasma doping에 의한 유기 반도체의 전기적 특성 향상 및 Micro patterning
초록 OTFTs(arganic thin film transistors), OPV(Organic photovoltaic), OLED(organic light-emitting diode)는 모두 유기 전도체의 박막이 핵심소재로 이용되고 있다. 본연구에서는 유기 반도체로 polythiophene,PEDOT 등 공액계 고분자 박막을 Ar plasma 중합법에 의해 plastic 기재위에 직접적으로 성막하였다. 또한 20-60W에서 O2 plasma를 사용하여 doping 시 전기적 특성이 크게 향상되는 특성을 관찰 할 수 있으며, 80-100W 조건에서 plasma etching에 의한 patterning이 수행되었다, 박막의 plasma doping에 의한 특성의 거동을 Raman, FT-IR, AFM(atonic force microscopy), ESR(electron spin resonance), 4-point probe등을 통해 분석하였다.
저자 김슬기, 양종원, 김진열
소속 국민대
키워드 polythiophene; PEDOT; plasma; doping; patterning
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