| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2010년 봄 (05/13 ~ 05/14, BEXCO(부산)) |
| 권호 | 14권 1호 |
| 발표분야 | 환경에너지 |
| 제목 | 폐 실리톤웨이퍼 슬러지의 재활용 방법에 관한 연구 |
| 초록 | 실리콘웨이퍼는 반도체 및 태양광 산업에서 다양하게 사용되고 있으며 이러한 실리콘웨이퍼를 제조하기 위한 실리콘 잉곳의 절단공정에서 대량의 실리콘웨이퍼 슬러지가 발생한다. 최근 국내의 일부 기업에서는 이러한 실리콘웨이퍼 슬러지 중에 함유되어 있는 실리콘 카바이드와 절삭유를 분리, 회수하여 실리콘웨이퍼의 절단공정에서 재이용할 수 있는 설비를 가동하고 있으며 회수한 실리톤 카바이드와 절삭유는 실리콘웨이퍼 제조업체에 제공하고 있다. 그러나 이와 같이 재이용이 가능성 성분을 분리, 회수할지라도 재활용 공정에서 최종적으로 폐기처분되는 슬러지 또한 아직 막대한 양으로 배출되고 있다.따라서 본 연구에서는 폐 실리콘웨이퍼 슬러지로부터 유용한 자원을 회수할 수 있는 기술개발의 가능성을 검토하기 위하여 슬러지 내에 함유된 절삭유 및 유용한 성분의 분리, 회수 특성에 관한 연구를 수행하였다. |
| 저자 | 오세천, 김현주, 오다은 |
| 소속 | 공주대 |
| 키워드 | 실리콘웨이퍼; 슬러지; 재활용 |
