| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2005년 봄 (05/26 ~ 05/27, 무주리조트) |
| 권호 |
11권 1호 |
| 발표분야 |
전자재료 |
| 제목 |
Hydrothermal 법과 stamping을 이용한 high aspect ratio 단결정 ZnO 바늘 및 막대의 2차원 주기적 배열 제조 |
| 초록 |
Hydrothermal 법과 stamping 방법을 이용하여 높은 가로세로비를 갖는 단결정 ZnO 바늘 및 막대의 2차원 주기적 배열을 제조하였다. MgAl2O4 (111) 단결정 기판 위에 200 nm 두께의 ZnO 에피박막을 hydrothermal 법을 이용하여 90 oC에서 성장하였다. 그 위에 stamping 방법을 이용하여 일정한 크기와 패턴의 열린 구멍을 갖는 포토레지스트를 입히고 열린 구멍을 통하여 hydrothermal 방법을 이용하여 ZnO 바늘 및 막대를 2차 성장하였다. pH가 증가할수록 가로세로비가 증가하였고 Na citrate를 첨가할수록 ZnO의 모양은 바늘에서 막대의 형태로 변화하였다. 아래 그림 1은 바늘의 배열을 보여주는 것이고 그림 2는 막대의 배열을 보여주는 것이다.
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| 저자 |
김보람1, David Andeen2, Fred. F. Lange3, 김진혁2
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| 소속 |
1전남대, 2Materials Dept., 3Univ. of California at Santa Barbara |
| 키워드 |
ZnO; hydrothermal; stamping; rod; needle
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| E-Mail |
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