| 학회 |
한국고분자학회 |
| 학술대회 |
2006년 봄 (04/06 ~ 04/07, 일산킨텍스) |
| 권호 |
31권 1호 |
| 발표분야 |
복합재료 |
| 제목 |
고분자 패턴과 전착에 의한 기능성 무기소재의 마이크로 패턴 제조 |
| 초록 |
고온 초전도체와 같은 기능성 무기소재의 마이크로 패턴을 제조하기 위해서는 일반적으로 벌크 물질로부터 박막을 제조한 후에 하향식 리소그래피 공정을 사용하여 패턴을 제조하지만, 리소그래피가 용이하지 않아 형성되는 패턴의 모양과 크기의 제한이 따른다. 본 연구에서는 일반적인 소자 제조에 사용되는 포토 리소그래피 공정으로 고분자 마이크로 패턴을 제조하고, 형성된 패턴 위에 기능성 무기소재의 나노입자를 정전기적으로 전착시켜주는 상향식 방법을 이용하여 무기소재의 마이크로 패턴을 제조하여 기존 방법의 문제점을 해결하려 하였다. 기능성 무기소재 중에서 층상형 고온 초전도체를 박리시켜 양전하의 표면전하를 가지는 나노 층상입자를 합성하여 패턴 제조를 위한 선구물질로 사용하였다. 합성된 나노입자를 하향식 리소그래피에 의하여 제조된 포토레지스트 패턴 위에 전착시킴으로써 고온 초전도체의 마이크로 패턴을 제조하였다. |
| 저자 |
장재준, 김기세, 배수학, 손병혁
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| 소속 |
서울대 |
| 키워드 |
고분자 패턴; 패턴; 기능성 무기소재; 초전도체
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