화학공학소재연구정보센터
학회 한국공업화학회
학술대회 2007년 봄 (05/11 ~ 05/12, 계명대학교)
권호 11권 1호
발표분야 정밀화학
제목 불소가스 제조와 활용
초록 불소(F2)는 반응성이 크고 인체에 유해한 가스이나 자연계에서는 기체로 포집하기 어렵다. 불소가스의 대량 제조기술은 2차세계대전 중 우라늄 동이원소 분리(UF6)의 군사적 목적을 위해 발전되고 확립되었다. 근래에는 유기화합물의 불소화제, NF3, SF6, WF6 등 불소화합물 제조의 원료, 유·무기소재의 표면개질 가스, 또는 고순도의 반도체 세정가스로 활용되고 있다. 국내에도 산업용도로 불소가스를 제조하여 활용하는 기업이 있고, 과학분야에의 활용에 대한 관심도 조금씩 증가하고 있다. 불소가스는 여러 가지 방법으로 제조할 수 있으나 KF·xHF (x는 2 부근) 용융염을 전기분해하여 양극에서 불소를, 음극에서 수소를 발생시키는 방법이 장치가 단순하고 대량 제조가 용이한 장점이 있어 상용 불소제조기술로 이용되고 있다. 본 발표에서는 불소가스 제조와 안전한 취급기술, 장치, 활용분야 등에 대해 소개하고자 한다.
저자 김홍곤
소속 한국과학기술(연)
키워드 불소; 불소가스; F2; 전해조; 반도체 가스
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