| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2010년 봄 (05/13 ~ 05/14, 삼척 팰리스 호텔) |
| 권호 | 16권 1호 |
| 발표분야 | A. Information Processing and Sensing(정보소재 및 센서) |
| 제목 | Pt 증착된 SnO2 나노선을 이용한 마이크로 메탄 가스 센서의 제조 및 특성 |
| 초록 | SnO2 나노선과 Pt 박막이 증착된 SnO2 나노선을 감지재료로 이용한 마이크로 가스 센서를 제작하고 메탄 가스에 대한 감지 특성을 조사하였다. 사용된 마이크로 플랫폼은 MEMS 공정을 이용하여 다층형으로 제조되었으며, SiNx 맴브레인 상의 중앙에 초소형 히터를 형성하고 그 위에 ONO(SiO2/SiNx/SiO2) 구조의 절연막을 형성한 후 감지 전극을 형성하고, 마이크로 플랫폼의 열적 고립이 용이하도록 하기 위해 배면을 KOH 습식 식각 방법을 통해 맴브레인을 형성하였다. Vapor-liquid-solid (VLS) 방법을 이용하여 금 촉매를 이용하여 800 ℃에서 Sn 분말을 증발시킨 후, 산소가스를 공급시켜 in-situ 형태로 Sn을 산화시켜, SnO2 나노선이 합성되었다. 또한, 메탄 가스에 대한 감도를 향상시키기 위해 SnO2 나노선이 성장 된 기판위에 Pt를 DC 스퍼터를 이용하여 두께를 변화시켜 증착하여 감지재료를 준비하였다. 준비된 감지재료는 에틸셀룰로즈(ethyl cellulose)에 알파테피놀(α-terpineol)을 혼합한 유기 바인더를 이용해 페이스트 형태로 제조되었으며, 마이크로 플랫폼의 감지 전극 상에 도포하여 마이크로 가스 센서를 준비하였다. 건조, 열처리, aging공정을 거친 후, 400 ℃의 작동 온도에서 메탄가스에 대한 감도 측정이 수행되어 그 결과가 발표될 예정이다. 본 연구는 지식경제부의 “차세대 지능형 정보전자핵심사업”의 지원을 통해 수행되었습니다. 연구비 지원에 감사드립니다. |
| 저자 | 노봉현, 박준식, 장웅진, 박광범, 박효덕, 박순섭 |
| 소속 | 전자부품(연) |
| 키워드 | 마이크로 플랫폼; Pt; SnO2; 나노선; 마이크로; 메탄; 센서 |
