학회 | 한국고분자학회 |
학술대회 | 2002년 가을 (10/11 ~ 10/12, 군산대학교) |
권호 | 27권 2호, p.304 |
발표분야 | 기능성 고분자 |
제목 | Glycidyl 기를 도입한 아크릴 공중합체의 UV 감광성 광학박막제조 및 광패턴 특성 |
초록 | 반도체의 Passivation layer와 같은 microelectronics device의 fabrification 공정을 단순화 하는 Photosensitive resist및 광도파제작등의 개발이 많은 관심을 끌고 있다. 본 연구는 Glycidyl 기를 도입한 아크릴 공중합체 합성하고 그 물성을 조사 한 것이다. 열안정성을 높이기 위한 가교제 역할을 하는 glycidylmethacrylate와 광학특성이 좋은 methyl methacrylate를 공중합하여 광가교가 가능한 poly(glycidylmethacrylate-co-methyl methacrylate)를 합성하였다. 합성한 고분자는 높은 열안정성을 나타내었으며 빛에 의해 가 교가 됨을 확인 하였다. 고분자의 굴절율은 공중합 비율에 의해 조절 가능하였고, 광개시제 를 사용한 습식현상을 통해 깨끗한 광도파로 패턴을 얻을 수 있었다. |
저자 | 김종진, 박천순, 김진봉 |
소속 | 전남대 |
키워드 | |