화학공학소재연구정보센터
학회 한국고분자학회
학술대회 2002년 가을 (10/11 ~ 10/12, 군산대학교)
권호 27권 2호, p.304
발표분야 기능성 고분자
제목 Glycidyl 기를 도입한 아크릴 공중합체의 UV 감광성 광학박막제조 및 광패턴 특성
초록 반도체의 Passivation layer와 같은 microelectronics device의 fabrification 공정을 단순화 하는 Photosensitive resist및 광도파제작등의 개발이 많은 관심을 끌고 있다.
본 연구는 Glycidyl 기를 도입한 아크릴 공중합체 합성하고 그 물성을 조사 한 것이다.
열안정성을 높이기 위한 가교제 역할을 하는 glycidylmethacrylate와 광학특성이 좋은
methyl methacrylate를 공중합하여 광가교가 가능한 poly(glycidylmethacrylate-co-methyl
methacrylate)를 합성하였다. 합성한 고분자는 높은 열안정성을 나타내었으며 빛에 의해 가
교가 됨을 확인 하였다. 고분자의 굴절율은 공중합 비율에 의해 조절 가능하였고, 광개시제
를 사용한 습식현상을 통해 깨끗한 광도파로 패턴을 얻을 수 있었다.
저자 김종진, 박천순, 김진봉
소속 전남대
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