| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2005년 가을 (11/10 ~ 11/11, 한양대학교) |
| 권호 | 11권 2호 |
| 발표분야 | 전자재료 |
| 제목 | 저온 PECVD를 이용한 a-Si TFT on flexible substrate에서의 thin film buckling 현상에 대한 연구 |
| 초록 | 평판 디스플레이를 넘어선 다음 세대의 기술로 flexible display가 많은 주목을 받고 있다. Flexible display는 plastic film과 같은 얇은 기판위에 디스플레이를 구현하여, 접거나 말아도 손상되지 않는 새로운 개념의 디스플레이이다. Flexible display는 구현하는 제품의 용도에 따라서 종이 대체용도(전자종이)와 현재의 디스플레이 대체용도로 폭 넓게 사용될 것으로 예상된다. 최근 활발한 연구의 결과로써 다양한 종류의 flexible display device가 개발 및 전시되었으며, 여러 문헌들이 a-Si TFT flexible display의 저온 PECVD막의 i-v 특성향상 및 bending시의 mechanical 특성고찰 또는 파괴현상에 관하여 발표되었다. 그러나 이들 대부분이 연구실 수준의 sample인 점을 감안할 때, 실제 양산에 필요한 문제점들은 그동안 등한시 되었던 것이 사실이다. 특히 열팽창계수가 큰 plastic 기판위에 고온에서 a-Si 삼층막을 증착함으로써 발생하는 film buckling현상은 flexible display 양산시 반드시 해결되어야하는 문제점이다. 본 연구에서는 150oC 저온 PECVD를 이용하여 flexible display backplane을 양산을 하고자 할 때, 제작공정 중에 발생하는 중요한 불량요인인 film buckling 현상을 Griffith theory를 통하여 이해하고자 하였으며, 이를 통하여 효과적으로 film buckling현상을 억제할 수 있는 방법을 고찰하였다. |
| 저자 | 서종현1, 한흥남2, 최희환3, 전재홍3 |
| 소속 | 1한국항공대 항공재료공학과, 2서울대, 3한국항공대 항공전자및정보통신공학부 |
| 키워드 | Flexible display; a-Si TFT; film buckling |
