| 학회 |
한국공업화학회 |
| 학술대회 |
2006년 봄 (05/12 ~ 05/13, 전북대학교) |
| 권호 |
10권 1호 |
| 발표분야 |
정보전자소재 |
| 제목 |
Radio Frequency Magnetron Sputtering 방법을 이용하여 증착된 Zinc Oxide 박막의 광학적 특성과 전기적 특성 |
| 초록 |
Zinc Oxide (ZnO) 박막은 높은 광학적 투과도와 전기적 전도성을 가지고 있어 투명 전도성 물질로의 응용이 가능하다. 본 연구에서는 rf magnetron sputtering 방법을 이용하여 ZnO 박막을 증착하였고 rf power를 변화시켜 증착함으로써 투명 전도성 ZnO 박막을 증착하고자 하였다. ZnO 세라믹 타겟을 이용하였고 유리를 기판으로 사용하였다. ZnO 박막의 증착 시 5 mTorr의 공정압력과 10 cm의 기판과 타겟 사이의 거리를 유지하였고 박막의 두께는 모두 1000 Å으로 증착되었다. ZnO 박막의 증착속도는 surface profilometer를 이용하여 측정되었고 광학적 투과도는 UV/Visible spectrophotometer에 의하여 측정되었다. 그리고 전기적 저항도는 four-point probe를 사용하여 측정되었고, surface morphology는 atomic force microscopy을 이용하여 조사되었다. |
| 저자 |
민수련, 정지원, 이장우, 조한나
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| 소속 |
인하대 |
| 키워드 |
Zinc Oxide; rf magnetron sputtering
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| E-Mail |
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