화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 2004년 가을 (10/29 ~ 10/30, 호서대학교(아산캠퍼스))
권호 10권 2호, p.2922
발표분야 특별 심포지엄
제목 반도체용 포토레지스트의 연구 개발 동향
초록
저자 김상태
소속 동우화인켐
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