| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2014년 봄 (04/30 ~ 05/02, 제주국제컨벤션센터) |
| 권호 | 18권 1호 |
| 발표분야 | 포스터-에너지저장.변환 |
| 제목 | 박막 태양전지용 증착장비 진단기술연구 |
| 초록 | 박막 태양전지의 제조공정방법 중 플라즈마 화학기상증착법(PE-CVD)은 증착될 물질의 원자를 포함하고 있는 기체상태의 화합물을 진공챔버로 유입하여 화학적 반응에 의해 기판 표면 위에서 박막을 형성하는 것이다. 공정에서 원하는 물성을 가진 박막을 형성하고 공정 효율을 높이기 위해서는 공정상태의 진단 및 공정 모니터링이 필수적이다. 본 연구에서는 플라즈마 변수로 공정특성을 모니터링하는 증착장비 진단 기술에 대해 소개하고자 한다. |
| 저자 | 윤주영1, 송제범1, 김진태1, 신재수2, 홍장식3, 왕현철4, 한성호5 |
| 소속 | 1한국표준과학(연), 2대전대, 3프라임솔루션, 4원익아이피에스, 5삼성전자 |
| 키워드 | 박막 태양전지; 장비진단기술 |
