| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2004년 봄 (05/14 ~ 05/14, 강릉대학교) |
| 권호 |
10권 1호 |
| 발표분야 |
금속 |
| 제목 |
FeNi합금의 자기특성에 미치는 잔류응력의 영향 |
| 초록 |
FeNi합금은 조성에 따라 우수한 연자기 특성을 갖는 재료로 알려져있으며 최근에는 전착공정을 이용한 나노결정 재료에 대한 연구 및 FeNi 합금박막의 자기디스크 디바이스의 자기헤드 등으로의 적용연구 등이 활발히 이루어 지고 있으나 주로 자기 특성에 관한 연구가 그 주류를 이루고 있다. 그러나 Fe-Ni합금은 외부 충격이나 내부잔류응력 등에 의해 그 자기특성이 민감하게 변화하며 이를 이용한 torque 센서, tension 센서 등 force 센서로의 활용이 기대되고 있으나 이를 위해서는 NiFe합금 특히 합금박막의 자기특성 및 잔류응력과의 상관관계에 대한 많은 정보를 필요로하고 있다 . 본 연구에서는 NiFe 박막을 sputtering 방법으로 제작하고 제작한 박막에 대하여 방사광 XRD를 이용하여 박막에 유기된 응력을 측정하여 정량화하고 annealing에 의한 relieving정도가 자기특성에 어떻게 영향을 미치는 지에 대한 연구를 행하였다. 또한 RSP로 리본형태의 FeNi합금을 제작하여 박막에 대한 실험결과와 비교분석하여 벌크시료의 자기특성과 유기응력과의 상관관계도 도출하였다. |
| 저자 |
김찬욱, 장창환
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| 소속 |
포항산업과학(연) |
| 키워드 |
Permalloy; Sputtering; Residual stress; Rapid solidification process
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