| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2002년 가을 (10/24 ~ 10/26, 서울대학교) |
| 권호 | 8권 2호, p.4810 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | Direct liquid injection ? metal organic chemical vapor deposition 공정을 이용한 BLT 강유전체 박막의 증착 |
| 초록 | BLT 박막을 증착하기 위해 사용된 전구체를 평가하고 평가 결과로부터 최적의 전구체 조합을 제시하였다 또한 DLI-MOCVD방법으로 BLT 박막을 증착하기 위한 공정 변수를 최적화 하였고, 증착된 박막의 특성을 평가했다 |
| 저자 | 강상우, 이시우 |
| 소속 | 포항공과대 |
| 키워드 | DLI; BLT; precursor |
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| 원문파일 | 초록 보기 |
