| 초록 |
기상반응법을 이용하여 Fe(CO)5증기와 SiH4(5% SiH4+Ar 95%)기체를 사용하여 철-실리콘 합금을 제조하였다. 실리콘의 조성을 변화시키면서 입자를 제조하였으며, 생성된 입자에 대하여 ICP(inductively coupled plasma), XRD(X-ray diffraction), TEM(transmission election microscopy), VSM(vibration sample magnetometer)을 이용하여 입자의 조성, 크기, 결정성, 자기적 성질을 측정하였다. 반응 온도 1000℃,반응관내 체류시간 20sec, Fe(CO)5의 농도 1.5x10 -4mol/ℓ, 반응관으로 공급되는 Fe:Si의 질량비가 84:16일 때, 40nm의 구형입자가 생성되었으며, Si의 함량이 증가함에 따라 구형입자의 모습이 사라지고, 체인 형태를 보였다. XRD분석 결과, Si의 함량이 16%일 때 Fe3Si, 36%일 때 FeSi, 48%일 때 FeSi2 peak가 나타난 것으로 보아, Fe-Si계 합금이 제조되었음을 알 수 있었다. 우수한 자성특성을 갖기 위해서는 입자 크기를 보다 더 감소시켜야 할 것으로 생각하며 이를 위해 전구체의 농도, 체류시간을 조절하여 볼 예정이다. |
