| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2006년 봄 (05/19 ~ 05/20, 경상대학교 ) |
| 권호 | 12권 1호 |
| 발표분야 | 반도체재료 |
| 제목 | 금속 촉매를 이용한 나노다공성 실리콘의 제조 |
| 초록 | 양극산화법으로 다공성 실리콘을 제조하는데 있어 기공 크기는 양극산화공정 시 전류밀도나 불산의 농도와 같은 공정변수에 의하여 결정된다. 그러나 이러한 공정변수들만을 조절함으로써 나노다공성 실리콘을 얻는 것은 쉽지 않다. 본 연구에서는 금 입자를 촉매로 사용하여 양극산화처리법에 의하여 나노다공성 실리콘을 제조하였다. 금 입자의 크기에 따른 기공 크기의 변화와 기공 형성 메커니즘에 관하여 논의하였다. |
| 저자 | 조용준, 이종무 |
| 소속 | 인하대 |
| 키워드 | 나노다공성 실리콘; 금속촉매; 기공 크기; 양극산화처리 |
