| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2011년 가을 (10/27 ~ 10/29, 신라대학교) |
| 권호 |
17권 2호 |
| 발표분야 |
F. Display and optic Materials and processing(디스플레이 및 광재료) |
| 제목 |
마그네트론 스퍼터를 이용한 온도 변화에 따른 AZO의 특성 변화 |
| 초록 |
RF 마크네트론 스퍼트를 이용하여 유리 기판 위에 Al 도핑된 ZnO (AZO)를 증착하였다. Si 박막 태양전지용 투명전극으로 사용될 AZO의 전기적 특성을 향상시키기 위해서 기판의 온도를 변화시켜 증착하였다. 증착된 AZO의 구조적 특성은 XRD를 이용하여 측정하였고 광학적 특성은 UV-VIS spectrophotometer 측정 장비를 이용하였다. optical transmittance, absorption coefficient, optical bandgap energy를 data를 통해 계산하였고 온도의 변화에 따라 bandgap energy를 계산하였다. 그리고 가시광 영역에서 평균투과율이 85% 이상 이였다. 증착한 AZO의 박막의 비저항은 1.13 × 10-3 Ω·cm 였고 온도변화에 따라 hall mobility는 증가하였다. 비저항 및 운반자농도의 의존성을 나타내고, 온도 변화에 따른 태양전지용 투명전극의 전기적 특성의 최적화를 이룰 수 있다. |
| 저자 |
정영진, 이승진, 박진영, 손창식
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| 소속 |
신라대 |
| 키워드 |
RF; sputtering; AZO; 온도변화
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