| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2014년 가을 (10/22 ~ 10/24, 대전 DCC) |
| 권호 | 20권 2호, p.1961 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | TiCl4 처리를 통한 근적외선영역 고반사 TiO2/SiO2/TiO2 다층박막 제작 |
| 초록 | Bragg stacks와 같이 고/저의 refractive index를 가지는 물질을 번갈아 쌓으면 각각의 표면에서 특정파장에 대한 반사가 일어나며 보강간섭 현상을 통해 고반사율을 얻을 수 있다. 이러한 방식을 이용하여 특정 파장에 대한 광학적 제어연구가 현재 활발히 일어나고 있다. TiO2 물질은 화학정 안정성, 높은 refractive index를 가져 광학분야에 널리 사용되고 있다. 하지만 TiO2 layer를 형성함에 있어 다양한 이유에 의한 pore가 생기며 이에 포함된 공기에 의해 refractive index가 낮아지게 된다. 이러한 현상을 방지하고자 TiCl4 처리를 통해 pore 및 crack을 제어하였다. 그 결과 TiO2 layer의 refractive index가 증가하였으며 근적외선 영역에서의 반사율 또한 향상되었다. 이는 SEM, SE를 통하여 분석하였으며 simulation 결과와 비교 분석하였다. |
| 저자 | 최주석, 김정현 |
| 소속 | 서울시립대 |
| 키워드 | TiO2 |
| 원문파일 | 초록 보기 |
