| 학회 |
한국공업화학회 |
| 학술대회 |
2007년 봄 (05/11 ~ 05/12, 계명대학교) |
| 권호 |
11권 1호 |
| 발표분야 |
정보전자소재 |
| 제목 |
TFT-LCD Array에 적용 가능한 투명 내열 박막 코팅 소개 합성 및 특성 |
| 초록 |
LCD(Liquid crystal display)는 전기장 혹은 자기장과 같이 외부 영향에 따라 쉽게 재배열하는 액정의 특성을 이용한 표시소자이다. 이러한 LCD는 전기 신호 전달에 직접적으로 참여하는 금속 배선과 금속 배선 사이를 절연시키는 절연막으로 이루어져 있다. 저유전막을 증착 방식에 따라 CVD방식과 spin-on 방식으로 나눌 수 있다. 본연구에서는 TFT 공정에 요구되는 유기절연막(Passivation)재료로서 CF3기를 가진 PAC들을 합성하였으며 Positive Photoresist를 제조하고 spin-on방식을 이용하여 패턴을 형성하고 알칼리 현상액에 대해 용해하였으며 이를 이용하여 포지티브 패턴을 형성할 수 있었다. |
| 저자 |
이효정, 박이순, 김효진, 조호영, 이삼종, 박은정, 류언주, 김순학, 곽기섭
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| 소속 |
경북대 |
| 키워드 |
Photoactive compound(PAC); 포지티브 레지스트; 절연막
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| E-Mail |
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