| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2011년 봄 (05/26 ~ 05/27, 제주 휘닉스 아일랜드) |
| 권호 |
17권 1호 |
| 발표분야 |
C. Energy and the Environment Technology(에너지 및 환경재료) |
| 제목 |
텍스쳐 피라미드 크기에 따른 에미터 형성 |
| 초록 |
결정질 실리콘 태양전지의 효율 향상을 위해서는 반사율을 낮추어 광학적 손실을 줄이는 것이 중요하다. 텍스쳐링 공정은 표면에 피라미드를 형성하여 입사된 빛의 반사를 약 10% 정도 줄이는 대표적 방법이다. 텍스쳐링 공정 시 생성된 피라미드의 top과 valley 부분은 불순물 주입 시 확산 깊이의 차이가 발생한다. 본 연구에서는 텍스쳐 피라미드 크기에 따른 에미터 형성 차이를 분석하였다. 텍스쳐링 공정 조건을 조절하여 평균 3μm와 10μm의 피라미드를 형성 후, 인(P)을 주입하여 n+ 에미터를 형성하였다. 크기가 다른 피라미드의 top과 valley 부분의 확산 깊이를 주사전자현미경(Scanning Electron Microscopy)과 투과전자현미경(Transmission Electron Microscopy)으로 관찰하였다. 형성된 에미터 층의 소수반송자 수명(minority carrier lifetime)과 면 저항 측정을 위하여 각각 Quasi-Steady-State Photo Conductance와 표면저항 측정기(4-point probe)를 사용하였다. 또한, 전∙후면 전극을 스크린 인쇄하여 소성 공정 후, 피라미드 크기에 따라 형성된 에미터와 전극과의 접촉 저항을 측정하였다. |
| 저자 |
김현호, 박성은, 김영도, 박효민, 김수민, 김성탁, 배수현, 탁성주, 김동환
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| 소속 |
고려대 |
| 키워드 |
텍스쳐링; 피라미드; 에미터; 확산 깊이; 실리콘 태양전지
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