화학공학소재연구정보센터
학회 한국공업화학회
학술대회 2021년 가을 (11/03 ~ 11/05, 대구 엑스코(EXCO))
권호 25권 2호
발표분야 포스터-디스플레이
제목 비할로겐계 폴리이미드 바니쉬를 이용한 플렉시블 디스플레이 공정연구: LLO 공정
초록 폴리이미드는 불용, 불융 특성을 보이고, 2단계 반응을 통해 필름화가 가능해 기존 디스플레이 공정처럼 필름을 별도로 제작한 후 이를 공정에 이용하지 않고 폴리이미드의 전구체인 폴리이미드 바니쉬을 캐리어 기판에 코팅한 후, 이를 이미드 경화해 필름을 형성한 후 디스플레이 공정을 진행한다. 플렉서블 디스플레이는 공정이 완료되면, 폴리이미드 기판을 캐리어 기판으로부터 분리하여야 하는데, 이때 폴리이미드의 단파장대역에서의 광흡수 특성을 이용해 LLO(Laser lift-off) 공정을 사용해 캐리어 기판에서 디스플레이를 분리한다. 개발하고 있는 비할로겐계 고투명 폴리이미드 바니쉬에 대해 소재/구조에 따른 LLO 공정 특성을 평가하였다.
저자 김수정1, 이원재1, 김용해1, 김기현1, 서영호2, 김동민2
소속 1한국전자통신(연), 2동진쎄미켐
키워드 폴리이미드; LLO
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