화학공학소재연구정보센터
학회 한국고분자학회
학술대회 2003년 가을 (10/10 ~ 10/11, 부경대학교)
권호 28권 2호, p.363
발표분야 기능성 고분자
제목 자기조립윤활제로 코팅한 실리콘웨이퍼의 표면특성 변화 고찰
초록 우수한 윤활특성과 내열특성을 가지고 있는 PFPE계열의 윤활제는 하드디스크 표면을 보호하는 소재로서 각광받고 있으며, silane계열 코팅제로는 OTS(Octadecyltrichlorosilane)가 각광받는 소재로 사용되어지고 있다. 그러나, PFPE의 경우 디스크 표면과의 결합력이 떨어지고, OTS의 경우 코팅과정에서 생기는 산성화로 인해 substrates를 손상시키는 단점을 지니고 있다. 따라서 이러한 단점을 보완하고자 PFPE에 silane을 합성하여 제조한, SPFPE(Silane modified PFPE)를 MEMS(Micro-electro-mechanical-system)를 이용하여 코팅하고 이를 기존에 사용하던 OTS, PFPE 코팅 substrates와 비교 고찰하였다. SPFPE의 경우 OTS보다는 낮은 소수성을 보였으나, 기존의 PFPE 보다는 높은 소수성을 가지는 것을 확인 할 수 있었으며, 열처리 과정을 통하여 OTS와 같은 소수성을 지니는 것을 확인 할 수 있었다. 그리고 AFM을 이용하여 이들의 표면을 관찰한 결과, SPFPE가 OTS보다 윤활특성이 뛰어남을 알 수 있었다.
저자 최성훈1, 강호종2
소속 1단국대, 2기능성고분자신소재연구센터
키워드 MEMS; SAMs; PFPE; OTS
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