| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2010년 봄 (05/13 ~ 05/14, 삼척 팰리스 호텔) |
| 권호 |
16권 1호 |
| 발표분야 |
C. Energy and the Environment(에너지 및 환경재료) |
| 제목 |
Ar/O2 혼합가스에 의한 AZO의 광학 및 구조적 특성 변화 |
| 초록 |
RF 마크네트론 스퍼트를 이용하여 유리 기판 위에 Al 도핑된 ZnO (AZO)를 증착하였다. Si 박막 태양전지용 투명전극으로 사용될 AZO의 광학 및 구조적 특성을 향상시키기 위해서 Ar 가스와 Ar/O2 혼합가스의 유량비를 조절하여 증착하였다. 증착된 AZO의 광학적 특성은 UV-spectrometer를 이용하여 측정하였고, 구조적 특성은 XRD를 이용하여 측정하였다. 가스의 유량비에 따라 광학 및 구조적 특성의 의존성을 나타내고, 가스 유량비를 조절하여 태양전지용 투명전극의 광학 및 구조적 특성의 최적화를 이룰 수 있다. |
| 저자 |
박재형, 김대현, 박주형, 유주현, 이승진, 정영진, 정태욱, 손창식
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| 소속 |
신라대 |
| 키워드 |
ZnO; 스프터; 투과도
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