| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2010년 가을 (11/11 ~ 11/12, 무주리조트) |
| 권호 |
16권 2호 |
| 발표분야 |
F. Display and optic Materials and processing(디스플레이 및 광 재료) |
| 제목 |
Ar/O2 혼합가스에 의한 GZO의 전기적 특성 변화 |
| 초록 |
RF 마크네트론 스퍼트를 이용하여 유리 기판 위에 Ga 도핑된 ZnO (GZO)를 증착하였다. Si 박막 태양전지용 투명전극으로 사용될 GZO의 전기적 특성을 향상시키기 위해서 Ar 가스와 Ar/O2 혼합가스의 유량비를 조절하여 증착하였다. 증착된 GZO의 전기적 특성은 반데포홀 방법으로 측정하였고, 구조적 특성은 XRD를 이용하여 측정하였다. 가스의 유량비에 따라 비저항 및 운반자농도의 의존성을 나타내고, 가스 유량비를 조절하여 태양전지용 투명전극의 전기적 특성의 최적화를 이룰 수 있다. |
| 저자 |
손창식, 정영진, 이승진
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| 소속 |
신라대 |
| 키워드 |
GZO; Ar/O2 혼합가스; sputter; RF magnetron; RF sputtering
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| E-Mail |
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