학회 한국화학공학회 학술대회 1995년 가을 권호 1권 2호, p.1349 발표분야 재료 제목 실란 플라즈마 반응기에서의 입자 생성과 이동 초록 저자 김교선, 김동주 소속 키워드 E-Mail 원문파일 초록 보기 목록보기
